BMETE12AF33

Nyomtatóbarát változatNyomtatóbarát változat
Tantárgy azonosító adatok
A tárgy címe: 
Mikro- és nanotechnológiák
A tárgy angol címe: 
Microtechnology and Nanotechnology
A tárgy rövid címe: 
MikroÉsNanotechnológiák
2
0
0
f
Kredit: 
3
Ajánlott/Kötelező előtanulmányi rend
1.Követelménytárgy kódja: 
BMETE15AF21 VAGY BMETE13AF04
1.Követelménytárgy (rövidített) címe: 
KísérletiFizika3
2.Követelménytárgy kódja: 
BMETE11AF05
2.Követelménytárgy (rövidített) címe: 
SzilfizAlapjai
Kizáró tantárgyak: 
BMETE12AF08
A tantárgy felelős tanszéke: 
Atomfizika Tanszék
A tantárgy felelős oktatója: 
Dr. Kiss Gábor
A tantárgy felelős oktatójának beosztása: 
egyetemi docens
Akkreditációs adatok
Akkreditációra benyújtás időpontja: 
2016.03.21.
Akkreditációs bizottság döntési időpontja: 
2016.07.06
Tematika
A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít: 
Kísérleti fizika
A tantárgy szerepe a képzés céljának megvalósításában: 
TTK Fizika BSc AF és MSc Nanotech.-anyagtud. spec. kötelezően választható tárgya
A tantárgy részletes tematikája magyarul és angolul: 

Mikrotechnológia, nanotechnológia és molekuláris nanotechnológia definíciója, összehasonlítása, egymáshoz való viszonya. A technológia feltételei.Mikro- és nanofizika. Vékonyrétegek leválasztására alkalmas módszerek: fizikai rétegleválasztási módszerek (vákuumpárologtatás, lézerablációs párologtatás, molekulasugaras epitaxiás rétegnövesztés, porlasztás), kémiai rétegleválasztási módszerek (kémiai gőzfázisú leválasztás).Adalékolás (diffúzió, ionimplantáció). Litográfia (foto, röntgensugaras, elektronsugaras, ionsugaras).Rétegeltávolítási technológiák: nedves "kémiai" marás, száraz marás (plazma, ionsugaras). Rétegminősítési eljárások: röntgendiffrakció, transzmissziós elektronmikroszkópia, pásztázó elektronmikroszkópia, szekunder ion tömegspektrometria, röntgen fotoelektron-spektroszkópia, Auger elektronspektroszkópia, pásztázó alagútmikroszkópia, atomerő mikroszkópia.Vastagréteg technológia: szitanyomtatás, beégetés, vastagréteg paszták.Nanométeres eszközök: egy elektronnal működő eszközök, rezonáns alagúteffektuson alapuló eszközök, mikro-elektromechanikai rendszerek, szenzorok. Molekuláris nanotechnológia.

Követelmények szorgalmi időszakban: 
2 ZH
Követelmények vizsgaidőszakban: 
     
Pótlási lehetőségek: 
1 pót ZH
Konzultációs lehetőségek: 
Szükség esetén a hallgatókkal történő megegyezés alapján.
Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom: 
Mojzes I.: Mikroelektronika és technológia. Műegyetemi Kiadó, 2005.
R. Waser (Ed.): Nanoelectronics and ionformation technology, Wiley-VCH, 2003.
     
A tárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka mennyisége órákban (a teljes szemeszterre számítva)
Kontakt óra: 
28
Félévközi felkészülés órákra: 
28
Felkészülés zárthelyire: 
34
Zárthelyik megírása: 
0
Házi feladat elkészítése: 
0
Kijelölt írásos tananyag elsajátítása (beszámoló): 
0
Egyéb elfoglaltság: 
0
Vizsgafelkészülés: 
0
Összesen: 
90
Ellenőrző adat: 
90
A tárgy tematikáját kidolgozta
Név: 
Dr. Kiss Gábor
Beosztás: 
egyetemi docens
Munkahely (tanszék, kutatóintézet, stb.): 
Atomfizika Tanszék
Név: 
     
Beosztás: 
     
Munkahely (tanszék, kutatóintézet, stb.): 
     
Név: 
     
Beosztás: 
     
Munkahely (tanszék, kutatóintézet, stb.): 
     
A tanszékvezető neve: 
Dr. Koppa Pál
A tantárgy adatlapja PDF-ben: