A mikro és nanotechnológián alapuló érzékelési elvek alkalmazása lehet a kulcsa a robosztus és
költséghatékony analitikai platformok megvalósításának, amelyek alkalmassá válhatnak jelölésmentes,
multi-paraméteres, extrém érzékenységgel történő molekuladetektálásra. A hagyományosnak mondható
kémiai és mechanikai szenzorok területén kezdődő technológiai forradalom mára betört a bioanalitikai
eszközök területére is, és ezek megvalósítása egyre kiterjedtebben hasznosítja a mikro- és nanotechnológiai
kutatások eredményeit. A gyártási technológiák folyamatos fejlődése napjainkban már lehetővé teszi a
szilárdtest alapú rendszerekben – a komplexitás növekedése mellett – olyan mérettartományok elérését is,
amelyek új lehetőségeket és kérdéseket vetnek fel mind a lejátszódó fizikai folyamatok, mind a lehetséges
alkalmazások területén.
 

Előzmények:
Korábbi kutatásaink során kidolgoztuk és optimalizáltuk a szilícium-nitrid/arany membránban kialakított
szilárdtest nanopórusok fabrikációs technológiáját a 3D MEMS és nanomegmunkálási eljárások
kombinálásával (FIB, EBAD). A kialakított nanoszerkezeteket mikrofluidikai címző hálózatba integráltuk,
amely lehetővé teszi a nanopórus membránokhoz történő mintatranszportot. A nanofluidikai rendszereket
sikeresen alkalmaztuk biomolekulák (pl. troponin-I) extrém érzékeny detektálására.
 

Célkitűzések:
-A fókuszált ionnyalábbal történő nanoskálás megmunkálás technológiájának továbbfejlesztése a
reprodukálhatóságot és tervezhetőséget figyelembe véve, különböző szerkezeti anyagok esetén.
-A fókuszált ionnyalábbal történő nanoskálás megmunkálás technológiájának modellezése.
-A nagyobb kihozatalt és reprodukálhatóságot biztosító elektronsugaras litográfia
alkalmazhatóságának vizsgálata nanopórusos rendszerek kialakításához, tesztszerkezetek
kialakításán keresztül.
-Nanofluidika szerkezetek elektronikai és fluidikai integrációja lehetőségeinek vizsgálata.
-Alapvető nanofluidikai szerkezetek, nanopórusos transzport jelenségeinek azonosítása és vizsgálata
elektromos módszerekkel.