BMETE12MF41

Nyomtatóbarát változatNyomtatóbarát változat
Tantárgy azonosító adatok
A tárgy címe: 
A félvezető anyagok mérési módszerei
A tárgy angol címe: 
Measurement Techniques of Semiconductor Materials
2
0
0
v
Kredit: 
2
A tantárgy felelős tanszéke: 
Atomfizika Tanszék
A tantárgy felelős oktatója: 
Dr. Richter Péter
A tantárgy felelős oktatójának beosztása: 
egyetemi tanár
Akkreditációs adatok
Akkreditációra benyújtás időpontja: 
2011.02.14.
Akkreditációs bizottság döntési időpontja: 
2011.04.01.
Tematika
A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít: 
Szilárdtestfizika, félvezetőfizika, optika.
A tantárgy szerepe a képzés céljának megvalósításában: 
TTK Fizikus MSc szak Kutató fizikus és Alkalmazott fizika szakirányának szabadon választható tárgya
A tantárgy részletes tematikája magyarul és angolul: 

Bevezető óra: félvezetőfizika alapok felelevenítése és/vagy félvezető gyártástechnológiai alapok, napelemipari sajátotsságok.
C-V (kapacitás-feszültség) mérés. Félvezető határfelületek, átmenetek (félv.-fém, félv.-szigetelő(low-K, high-K), félv.-félv.), átmenetek sztatikus és dinamikus viselkedése változó előfeszítésnél, dópolási koncentráció mélységfüggésének meghatározása, határfelületi hibák mennyiségi meghatározása (interfész állapotsűrűség), dinamikus viselkedés (mély kiürülés - deep depletion), a mérés alkalmazási területei (CCD,CMOS), mérés gyakorlati megvalósítása, alternatív módszerek.
Mélynívó spektroszkópia DLTS: Szennyezők/kristály hibák állapotai, állapotok befogási és emissziós folyamatai, a mérés gyakor lati megvalósítása
(kapacitástranziens, lock-in módszer), hőmérséklet és frekvenciaspektrum, Arrhenius plot, tipikus szennyezők, állapotok.
Kisebbségi töltéshordozó élettartam mérése: A kisebbségi élettartam definíciója, generációs/rekombinációs élettartam, rekombinációs mechanizmusok, SRH rekombináció, diffúziós egyenlet, tömbi/felületi rekombináció, mérési módszerek (fotovezetőképesség, kontaktusos és érintésmentes módszerek, SPV), az élettartam szerepe a félvezető és a napelemiparban, konkrét példák.
Optikai módszerek: Fény-anyag kölcsönhatás alapjai. Elektromágneses spektrum, polarizáció az anyagban, optikai függvények és kapcsolatuk. Mérhető mennyiségek optikai úton. Optikai méréstechnikák, ellipszometria alapjai, adatok analízise, félvezető és napelemipari alkalmazások.

Követelmények szorgalmi időszakban: 
Jelenlét a kontakt órák 70%-án.
Követelmények vizsgaidőszakban: 
szóbeli vizsga
Pótlási lehetőségek: 
ismétlő vizsga
Konzultációs lehetőségek: 
előadóval egyeztetve
Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom: 
Sólyom Jenő: A modern szilárdtestfizika alapjai I-III., P. Sz. Kirijev: Félvezetők fizikája
E.H. Nicollian, J. R. Brews: MOS Physics and Technology
D. K. Schroeder: Semiconductor Material and Device Characterization
A tárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka mennyisége órákban (a teljes szemeszterre számítva)
Kontakt óra: 
28
Félévközi felkészülés órákra: 
18
Felkészülés zárthelyire: 
0
Zárthelyik megírása: 
0
Házi feladat elkészítése: 
0
Kijelölt írásos tananyag elsajátítása (beszámoló): 
0
Egyéb elfoglaltság: 
0
Vizsgafelkészülés: 
14
Összesen: 
60
Ellenőrző adat: 
60
A tárgy tematikáját kidolgozta
Név: 
Dr. Kis-Szabó Krisztián
Munkahely (tanszék, kutatóintézet, stb.): 
Semilab Zrt.
Név: 
Korsos Ferenc
Munkahely (tanszék, kutatóintézet, stb.): 
Semilab Zrt.
Név: 
Sütő Attila
Munkahely (tanszék, kutatóintézet, stb.): 
Semilab Zrt.
A tanszékvezető neve: 
Dr. Richter Péter
A tantárgy adatlapja PDF-ben: