A hallgató neve: | specializációja: |
A záróvizsgát szervező tanszék neve: Fizika Tanszék |
A témavezető neve:
Gallai József - munkahelye: Optics PMR Team, Semilab Zrt. - beosztása: csoportvezető - email címe: jozsef.gallai@semilab.hu |
A konzulens neve:
Fehér Titusz - tanszéke: Fizika Tanszék - beosztása: egyetemi docens - email címe: feher.titusz@ttk.bme.hu |
A kidolgozandó feladat címe: Fotomodulált reflexiós (PMR) jel vizsgálata |
A téma rövid leírása, a megoldandó legfontosabb feladatok felsorolása: A félvezetőiparban az ion-implantált szilíciumszeletek vizsgálata történhet fotomodulált reflexióváltozáson (photo-modulated reflection, PMR) alapuló méréssel. Ennek során az ún. pumpáló lézerrel reflexióváltozást idézünk elő, amit egy másik (probe) lézerrel mérünk meg. A módszer érintés- és roncsolásmentes. A kapott PMR jel az anyag felületén és annak közelében lévő (~10 um mélységig) mikroszerkezettől függ. Ezért korrelál az ion-implantáció összes beállítható paraméterével, pl. a besugárzási dózissal, kristályrácshoz viszonyított beesési szöggel. A PMR jelet meghatározó ill. befolyásoló paraméterek terén sok kérdés vár még megválaszolásra. További információ a mérésről: https://semilab.com/category/products/photo-modulated-reflectivity-measurement. A jelölt feladata: PMR méréstechnika alapjainak megértése, mérések végrehajtása, különböző metrológiákból, mintákból származó PMR jelek statisztikai elemzése, következtetések levonása. |
A záróvizsga kijelölt tételei: |
Dátum: |
Hallgató aláírása: |
Témavezető aláírása*: |
Tanszéki konzulens aláírása: |
A témakiírását jóváhagyom (tanszékvezető aláírása): |
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Természettudományi Kar |
1111 Budapest, Műegyetem rakpart 3. K épület I. em. 18. www.ttk.bme.hu |