A hallgató neve: Sinkó Csaba | specializációja: Fizikus MSc - nanotechnológia és anyagtudomány |
A záróvizsgát szervező tanszék neve: Fizika Tanszék |
A témavezető neve:
Márton Attila - munkahelye: SEMILAB Zrt. (1117 Budapest, Prielle Kornélia utca 2.) - beosztása: fizikus - email címe: attila.marton@semilab.hu |
A konzulens neve:
Dr. Halbritter András Ernő - tanszéke: Fizika Tanszék - beosztása: egyetemi tanár, tanszékvezető - email címe: halbritt@mail.bme.hu |
A kidolgozandó feladat címe: Szigetelő-félvezető határfelületek vizsgálata elektromos módszerekkel ipari környezetben, automata, higanymentes mérőkészülék alkalmazásával |
A téma rövid leírása, a megoldandó legfontosabb feladatok felsorolása: A félvezetőipari chipgyártási technológia fejlődésében nagy ugrást jelentett amikor a planáris struktúrákról többrétegű, 3D-s alakzatokra tértek át. Manapság ezek a 3D stackek több mint 100 réteget - fém, félvezető és szigetelő - tartalmazhatnak. Az elkészült struktúrák kihozatala szempontjából kritikus az elkészült félvezető-szigetelő határátmeneten kialakuló csapda állapotok felületi sűrűsége (Dit), mivel közvetlenül befolyásolja a kapcsolási sebességet és a kapcsolási feszültség időbeli stabilitását. A Dit vizsgálatára a kapacitás-feszültség mérésen alapuló technológiák adnak lehetőséget: -gyártási alapanyag vizsgálat esetén elsősorban párologtatott fémkontaktussal ellátott MOS struktúrákkal vagy higany segítségével létrehozott ideiglenes fémkontaktuson keresztüli karakterizálással -a chipgyártás gyártásközi monitorozásában - a tisztasági követelmények és a chipek közötti tesztpadeken való mérésekhez - egy új típusú technológiára van szükségünk Erre az ipari applikációra az elasztikus fémtűvel ellátott kapacitás-feszültség mérő készülék (FCV) alkalmas jelölt lehet. Ezen technológia nagy előnye a kis kontaktusterület, illetve a nem roncsoló, szennyezésmentes kontaktusformálás, ami lehetővé teszi a chipek közötti tesztpadeken való vizsgálatra. -A Dit mérésére alkalmas méréstechnika megismerése és felkészítése kalibráló mintasor minősítésére -Az eljárás validálása MCV-vel való korreláció vizsgálatával -Mérési pontosság javítása a mérést zavaró különböző hatások figyelembevételével -A Dit karakterizálás kiterjesztése több frekvencián való méréssel |
A záróvizsga kijelölt tételei: |
Dátum: |
Hallgató aláírása: |
Témavezető aláírása*: |
Tanszéki konzulens aláírása: |
A témakiírását jóváhagyom (tanszékvezető aláírása): |
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Természettudományi Kar |
1111 Budapest, Műegyetem rakpart 3. K épület I. em. 18. www.ttk.bme.hu |