Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Természettudományi Kar |
Tantárgy Adatlap |
Tantárgy kód | BMETE12AF08 |
Tantárgy azonosító adatok | |||||||||
1. | A tárgy címe | Mikro- és nanotechnológiák | |||||||
2. | A tárgy angol címe | Microtechnology and Nanotechnology |
3. | Heti óraszámok (ea + gy + lab) és a félévvégi követelmény típusa | 2 | + | 0 | + | 0 | f | Kredit | 2 |
4. | Ajánlott/kötelező előtanulmányi rend | ||||||||
vagy | Tantárgy kód 1 | Rövid cím 1 | Tantárgy kód 2 | Rövid cím 2 | Tantárgy kód 3 | Rövid cím 3 | |||
4.1 | BMETE13AF04 | KísérletiFizika3 | BMETE11AF05 | SzilfizAlapjai | |||||
4.2 | |||||||||
4.3 | |||||||||
5. | Kizáró tantárgyak | ||||||||
6. | A tantárgy felelős tanszéke | Atomfizika Tanszék | |||||||
7. | A tantárgy felelős oktatója | Dr. Kiss Gábor | beosztása | egyetemi docens |
Akkreditációs adatok | ||||
8. | Akkreditációra benyújtás időpontja | 2005.11.01. | Akkreditációs bizottság döntési időpontja | 2007.03.27. |
Tematika | |||||||||
9. | A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít | ||||||||
Kísérleti fizika |
|||||||||
10. | A tantárgy szerepe a képzés céljának megvalósításában (szak, kötelező, kötelezően választható, szabadon választható) | ||||||||
TTK Fizika (BSc) képzés Alkalmazott fizika szakirányának kötelezően választható tárgya |
|||||||||
11. | A tárgy részletes tematikája | ||||||||
Mikrotechnológia, nanotechnológia és molekuláris nanotechnológia definíciója, összehasonlítása, egymáshoz való viszonya. A technológi a feltételei.
Mikro- és nanofizika. Vékonyrétegek leválasztására alkalmas módszerek: fizikai rétegleválasztási módszerek (vákuumpár ologtatás, lézerablációs párologtatás, molekulasugaras epitaxiás rétegnövesztés, porlasztás), kémiai rétegleválasztási módszerek (kémiai gőzfázisú leválasztás). Adalékolás (diffúzió, ionimplantáció). Litográfia (foto, röntgensugaras, elektronsugaras, ionsugaras).
Rétegeltávolítási technológiák: nedves "kémiai" marás, száraz marás (plazma, ionsugaras). Rétegminősítési eljárások: röntgend iffrakció,
transzmissziós elektronmikroszkópia, pásztázó elektronmikroszkópia, szekunder ion tömegspektrometria, röntgen fotoelektron -spektroszkópia, Auger elektronspektroszkópia, pásztázó alagútmikroszkópia, atomerő mikroszkópia.
Hagyományos elektronikai eszközök: bipoláris tranzisztor, térvezérlésű tranzisztor. Vastagréteg technológia: szitanyomtatás, beégetés, vastagréteg paszták.
Nanométeres eszközök: egy elektronnal működő eszközök, rezonáns alagúteffektuson alapuló eszközök, mikro-elektromechanikai rendszerek, szenzorok, képérzékelők, kijelzők. Molekuláris nanotechnológia. |
|||||||||
12. | Követelmények, az osztályzat (aláírás) kialakításának módja | ||||||||
szorgalmi időszakban |
1 ZH | vizsga- időszakban |
|||||||
13. | Pótlási lehetőségek | ||||||||
1 pót ZH |
|||||||||
14. | Konzultációs lehetőségek | ||||||||
Szükség esetén a hallgatókkal történő megegyezés alapján. |
|||||||||
15. | Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom | ||||||||
Mojzes I.: Mikroelektronika és elektronikai technológia. Műszaki Könyvkiadó, 1995. |
|||||||||
C.Y.Chang and S.M.Sze (Ed.): VLSI Techjnology, McGrew Hill, 1996. |
|||||||||
R. Waser (Ed.): Nanoelectronics and ionformation technology, Wiley-VCH, 2003. |
|||||||||
16. | A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka mennyisége órákban (a teljes szemeszterre számítva) | ||||||||
16.1 | Kontakt óra | 28 |
|||||||
16.2 | Félévközi felkészülés órákra | 14 |
|||||||
16.3 | Felkészülés zárthelyire | 10 |
|||||||
16.4 | Zárthelyik megírása | 0 |
|||||||
16.5 | Házi feladat elkészítése | 0 |
|||||||
16.6 | Kijelölt írásos tananyag elsajátítása (beszámoló) | 0 |
|||||||
16.7 | Egyéb elfoglaltság | 0 |
|||||||
16.8 | Vizsgafelkészülés | 0 |
|||||||
16.9 | Összesen | 52 |
|||||||
17. | Ellenőrző adat | Kredit * 30 | 60 |
A tárgy tematikáját kidolgozta | |||||||||
18. | Név | beosztás | Munkahely (tanszék, kutatóintézet, stb.) | ||||||
Dr. Kiss Gábor |
egyetemi docens |
Atomfizika Tanszék |
|||||||
A tanszékvezető | |||||||||
19. | Neve | aláírása | |||||||
Dr. Richter Péter |