Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Természettudományi Kar		 Tantárgy Adatlap
Tantárgy kód BMETE125300
Tantárgy azonosító adatok
1. A tárgy címe Vékonyrétegek technológiája
2. A tárgy angol címe Technology of thin films
3. Heti óraszámok (ea + gy + lab) és a félévvégi követelmény típusa 2 + 0 + 2 v Kredit 4
4. Ajánlott/kötelező előtanulmányi rend
vagy Tantárgy kód 1 Rövid cím 1 Tantárgy kód 2 Rövid cím 2 Tantárgy kód 3 Rövid cím 3
4.1
4.2
4.3
5. Kizáró tantárgyak
Vékonyréteg technológia (BMETE125190)
6. A tantárgy felelős tanszéke Atomfizika Tanszék
7. A tantárgy felelős oktatója Deák Péter beosztása egyetemi tanár
Akkreditációs adatok
8. Akkreditációra benyújtás időpontja 2004.05.05. Akkreditációs bizottság döntési időpontja 2004.05.18.
Tematika
9. A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít
Matematika, Fizika, Anyagtudomány
10. A tantárgy szerepe a képzés céljának megvalósításában (szak, kötelező, kötelezően választható, szabadon választható)
Mérnökfizikus képzés anyagtudományi moduljában kötelezően választható tárgy
11. A tárgy részletes tematikája
Vékonyrétegek fogalma. Vékonyrétegek előállítása additív és szubtraktív eljárásokkal. Vákuumtechnológia berendezések felépítése. Vákuumszivattyúk, vákuummérők. Vékonyrétegek előállítása vákuumpárologtatással. A vákuumpárologtatáshoz használt gőzforrások fajtái és működési elvük. Elektronsugaras párologtató források. A párologtató források iránykarakterisztikái. Vékonyré tegek előállítása porlasztással. A magnetronos és a nagyfrekvenciás porlasztás elve.A párologtató forrás és a hordozó közötti anyagáramlás modelljei. A vákuumel járásokkal készített vékonyrétegek kondenzációs folyamata és fizikája. Vékonyrétegek előállítása kémiai lecsapatással és oxidációval (anódos és termikus). Különböző szerkezetű rétegek: amorf, polikristályos, epitaxiás rétegek. Rétegek villamos tulajdonságai. Vékony fémrétegek v ezetési mechanizmusa. Vezető- és ellenállásrétegek előállítása, tulajdonságai és mikroelektronikai alkalmazásai. Félvezető és szigetelő vékonyrétegek villamos tulajdonságai és alkalmazásai.Szupravezető rétegek előállítása és tulajdonságai. Vékonyrétegek optikai tulajdonságai , reflexió és transzmisszió vékony fém és nem fém rétegeken. Rétegrendszerek optikai tulajdonságai. Optikai alkalmazások: reflexiócsökkentő, -növelő rétegek, adott spektrális transzmissziójú, reflexiójú rétegek, interferencia szűrők. Vékonyrétegek vizsgálati eljárásainak ös szefoglalása: vastagság, optikai állandók meghatározása, fajlagos ellenállás mérése, szerkezeti sajátságok meghatározása. A laboratóriumi gyakorlatok részletes tematikája :1.Vékonyrétegek készítése vákuumpárologtatással 2.Gőzforrások iránykarakter isztikájának vizsgálata 3.Vékonyrétegek mintázatkészítése lézeres direktírással 4.Vékony fémbevonatok készítése nedves kémiai eljárásokkal 5. Maszkolási technikák fotoszenzitív rétegek alkalmazásával 6.Vékonyréteg technológia ipari alkalmazásának tanulmányozása gyárlátogatáson (pl. a Samsung gödi üzemében) 7.Polimer vékonyrétegek felvitele
12. Követelmények, az osztályzat (aláírás) kialakításának módja
szorgalmi
időszakban		 szakirodalmi összefoglaló készítése és beszámoló tartása. A felkészülés szintjét a gyakorlatokon ellenőrizzük vizsga-
időszakban		 Írásbeli vizsga két kérdéssel. Egy osztályzatnyi javításra további egy kérdéssel szóbeli vizsgán adunk lehetőséget
13. Pótlási lehetőségek
a félév utolsó előtti hetén lehetőséget biztosítunk.
14. Konzultációs lehetőségek
Az előadási és laboratóriumi órákon, óraközi szünetekben.
15. Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom
Roth, A: Vacuum technology, North-Holland Publishing Company, 1976.
Szilágyi Miklós (szerkesztő).: Fizikai technológiák. BME jegyzet, 1986.
Nussbaum A.; Phillips R.: Modern optika 8. fej. Műszaki Kiadó, 1982.
16. A tantárgy elvégzéséhez átlagosan szükséges tanulmányi munka mennyisége órákban (a teljes szemeszterre számítva)
16.1 Kontakt óra
56
16.2 Félévközi felkészülés órákra
14
16.3 Felkészülés zárthelyire
0
16.4 Zárthelyik megírása
0
16.5 Házi feladat elkészítése
20
16.6 Kijelölt írásos tananyag elsajátítása (beszámoló)
0
16.7 Egyéb elfoglaltság
0
16.8 Vizsgafelkészülés
30
16.9 Összesen
120
17. Ellenőrző adat Kredit * 30
120
A tárgy tematikáját kidolgozta
18. Név beosztás Munkahely (tanszék, kutatóintézet, stb.)
Illyefalvi-Vitéz Zsolt
egyetemi docens
Elektronikai Technológia Tsz
Hárs György
egyetemi docens
Atomfizika Tanszék
Deák Péter
egyetemi tanár
Atomfizika Tanszék
A tanszékvezető
19. Neve aláírása
Richter Péter egyetemi tanár