Szakdolgozat-választás

A hallgató neve: specializációja:
A záróvizsgát szervező tanszék neve: Fizika Tanszék
A témavezető neve: Dr. Pongrácz Anita
- munkahelye: Semilab Zrt.
- beosztása: Applikációs és Termékmarketing részlegvezető
- email címe: anita.pongracz@semilab.hu
A konzulens neve: Fehér Titusz
- tanszéke: Fizika Tanszék
- beosztása: egyetemi docens
- email címe: feher.titusz@ttk.bme.hu
A kidolgozandó feladat címe: Szilícium-karbid rétegellenállás mérése örvényáram módszerrel
A téma rövid leírása, a megoldandó legfontosabb feladatok felsorolása:

A rétegellenállás pontos és érintésmentes mérése a félvezető eszközök gyártástechnológiájában kiemelkedő fontosságú módszer, tiszta félvezető és vegyület-félvezető anyagok (elsősorban szilícium-karbid) esetén is jól használható. A rétegellenállás pontos ismerete és monitorozása elengedhetetlen például a teljesítményelektronikai chipgyártók számára a szilícium-karbid epitaxiális rétegnövesztés és n-típusú szennyezés optimalizálásához.

A Semilab Zrt. laboratóriumában a hallgató megismerkedhet a vegyület-félvezetők anyagi tulajdonságaival, azok méréstechnikai vizsgálatával. Feladata a műszeres analitikai mérések elvégzése, az eredmények kiértékelése és a jelenség fizikai hátterének megértése. MSc szinten a hallgató bekapcsolódik a méréstechnika kísérleti-elméleti fejlesztésébe is.

A záróvizsga kijelölt tételei:
Dátum:
Hallgató aláírása:
Témavezető aláírása*:
Tanszéki konzulens aláírása:
A témakiírását jóváhagyom
(tanszékvezető aláírása):
*A témavezető jelen feladatkiírás aláírásával tudomásul veszi, hogy a BME TVSZ 145. és 146.§ alapján az egyetem a képzési célok megvalósulása érdekében a szakdolgozatok, illetve diplomamunkák nyilvánosságát tartja elsődlegesnek. A hozzáférés korlátozása csak kivételes esetben, a dékán előzetes hozzájárulásával lehetséges.
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem
Természettudományi Kar
1111 Budapest, Műegyetem rakpart 3. K épület I. em. 18.
www.ttk.bme.hu