A hallgató neve: | specializációja: |
A záróvizsgát szervező tanszék neve: Fizika Tanszék |
A témavezető neve:
Dr. Pongrácz Anita - munkahelye: Semilab Zrt. - beosztása: Applikációs és Termékmarketing részlegvezető - email címe: anita.pongracz@semilab.hu |
A konzulens neve:
Fehér Titusz - tanszéke: Fizika Tanszék - beosztása: egyetemi docens - email címe: feher.titusz@ttk.bme.hu |
A kidolgozandó feladat címe: Szilícium-karbid rétegellenállás mérése örvényáram módszerrel |
A téma rövid leírása, a megoldandó legfontosabb feladatok felsorolása: A rétegellenállás pontos és érintésmentes mérése a félvezető eszközök gyártástechnológiájában kiemelkedő fontosságú módszer, tiszta félvezető és vegyület-félvezető anyagok (elsősorban szilícium-karbid) esetén is jól használható. A rétegellenállás pontos ismerete és monitorozása elengedhetetlen például a teljesítményelektronikai chipgyártók számára a szilícium-karbid epitaxiális rétegnövesztés és n-típusú szennyezés optimalizálásához. A Semilab Zrt. laboratóriumában a hallgató megismerkedhet a vegyület-félvezetők anyagi tulajdonságaival, azok méréstechnikai vizsgálatával. Feladata a műszeres analitikai mérések elvégzése, az eredmények kiértékelése és a jelenség fizikai hátterének megértése. MSc szinten a hallgató bekapcsolódik a méréstechnika kísérleti-elméleti fejlesztésébe is. |
A záróvizsga kijelölt tételei: |
Dátum: |
Hallgató aláírása: |
Témavezető aláírása*: |
Tanszéki konzulens aláírása: |
A témakiírását jóváhagyom (tanszékvezető aláírása): |
Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem Természettudományi Kar |
1111 Budapest, Műegyetem rakpart 3. K épület I. em. 18. www.ttk.bme.hu |