Új szélessávú mikrohullámú technika a félvezetők jellemzésének fejlesztésére

Nyomtatóbarát változatNyomtatóbarát változat

A Semilab Zrt., a Budapesti Műszaki és Gazdaságtudományi Egyetem, valamint a University of Notre Dame kutatói egy új, kontaktusmentes, időfelbontásos mikrohullámú fotovezetőképesség-mérő platformot fejlesztettek ki, amely jelentősen kibővíti a félvezető-jellemzés egyik alapvető módszerének lehetőségeit. Míg a hagyományos fotovezetőképesség-mérések jellemzően egyetlen mikrohullámú frekvencián és gerjesztési hullámhosszon működnek, az új rendszer szélessávú koplanáris hullámvezető érzékelőt és fejlett kiolvasó elektronikát alkalmaz. Ez lehetővé teszi a széles frekvenciatartományú detektálást, a hőmérsékletfüggő vizsgálatokat és a többfotonos gerjesztést, így a töltéshordozó-dinamika átfogóbb feltárását. A platform közvetlenül alkalmazható az ipari szilíciumszelet-metrológiában, ugyanakkor új kutatási lehetőségeket nyit új anyagok, például perovszkitok, széles tiltott sávú teljesítményfélvezetők, valamint topologikus és kvantumanyagok vizsgálatában. A munka jól példázza az ipar–egyetemi együttműködés erejét, amely az ipari mérnöki tapasztalatot és az akadémiai kutatást ötvözve szolgálja a félvezető-technológia és az alapkutatás előrehaladását. A cikk elérhetősége: https://journals.aps.org/prapplied/abstract/10.1103/pdrr-tpcm ill. https://arxiv.org/pdf/2411.16892