A tantárgy az alábbi témakörök ismeretére épít:
Matematika, Fizika, Anyagtudomány
A tantárgy szerepe a képzés céljának megvalósításában:
Mérnökfizikus képzés anyagtudományi moduljában kötelezően választható tárgy
A tantárgy részletes tematikája magyarul és angolul:
Vékonyrétegek fogalma. Vékonyrétegek előállítása additív és szubtraktív eljárásokkal. Vákuumtechnológia berendezések felépítése. Vákuumszivattyúk, vákuummérők. Vékonyrétegek előállítása vákuumpárologtatással. A vákuumpárologtatáshoz használt gőzforrások fajtái és
működési elvük. Elektronsugaras párologtató források. A párologtató források iránykarakterisztikái. Vékonyré tegek előállítása porlasztással. A magnetronos és a nagyfrekvenciás porlasztás elve.A párologtató forrás és a hordozó közötti anyagáramlás modelljei. A vákuumel járásokkal készített vékonyrétegek kondenzációs folyamata és fizikája. Vékonyrétegek előállítása kémiai lecsapatással és oxidációval (anódos és termikus).
Különböző szerkezetű rétegek: amorf, polikristályos, epitaxiás rétegek. Rétegek villamos tulajdonságai. Vékony fémrétegek v ezetési
mechanizmusa. Vezető- és ellenállásrétegek előállítása, tulajdonságai és mikroelektronikai alkalmazásai. Félvezető és szigetelő vékonyrétegek villamos tulajdonságai és alkalmazásai.Szupravezető rétegek előállítása és tulajdonságai. Vékonyrétegek optikai tulajdonságai , reflexió és transzmisszió vékony fém és nem fém rétegeken. Rétegrendszerek optikai tulajdonságai. Optikai alkalmazások: reflexiócsökkentő, -növelő
rétegek, adott spektrális transzmissziójú, reflexiójú rétegek, interferencia szűrők. Vékonyrétegek vizsgálati eljárásainak ös szefoglalása: vastagság, optikai állandók meghatározása, fajlagos ellenállás mérése, szerkezeti sajátságok meghatározása.
A laboratóriumi gyakorlatok részletes tematikája :1.Vékonyrétegek készítése vákuumpárologtatással 2.Gőzforrások iránykarakter isztikájának vizsgálata 3.Vékonyrétegek mintázatkészítése lézeres direktírással 4.Vékony fémbevonatok készítése nedves kémiai eljárásokkal 5. Maszkolási
technikák fotoszenzitív rétegek alkalmazásával 6.Vékonyréteg technológia ipari alkalmazásának tanulmányozása gyárlátogatáson (pl. a Samsung
gödi üzemében) 7.Polimer vékonyrétegek felvitele
Követelmények szorgalmi időszakban:
szakirodalmi összefoglaló készítése és beszámoló tartása. A felkészülés szintjét a gyakorlatokon ellenőrizzük
Követelmények vizsgaidőszakban:
Írásbeli vizsga két kérdéssel. Egy osztályzatnyi javításra további egy kérdéssel szóbeli vizsgán adunk lehetőséget
Pótlási lehetőségek:
a félév utolsó előtti hetén lehetőséget biztosítunk.
Konzultációs lehetőségek:
Az előadási és laboratóriumi órákon, óraközi szünetekben.
Jegyzet, tankönyv, felhasználható irodalom:
Roth, A: Vacuum technology, North-Holland Publishing Company, 1976.
Szilágyi Miklós (szerkesztő).: Fizikai technológiák. BME jegyzet, 1986.
Nussbaum A.; Phillips R.: Modern optika 8. fej. Műszaki Kiadó, 1982.
Nyomtatóbarát változat
